Розрахунок розподілу домішок у кремнії при кристалізаційному очищенню та дифузійному легуванню

Дипломна робота: 35 стор., 8 мал., 6 табл., 1 додаток, 5 джерел, 2008 г. У дипломній роботі виконується розрахунок розподілу домішки уздовж злитка кремнію зонною плавкою. Розрахунок виконується для трьох домішок (Ga,P та Sb) для трьох швидкостей (Vкр =1,5 ; 5 та 15 мм/хв). Крім того розрахунок розподілу Ga у кремнії після дифузійного відпалу при різних умовах дифузії. Метою роботи є встановити від чого залежить ефективність очищення напівпровідника від домішки. За допомогою рівнянь дифузії було розраховано розподіл домішок у кремнії, з чого виходить сурма краще піддається очищенню в порівнянні з галієм, а галій краще в порівнянні з фосфором. Дипломна робота містить графіки розподілу домішки як при зонній плавці, так і при дифузії. Вступ 1. Літературний огляд 1.1 Опис процесу зонної плавки і її математична модель 1.2 Розподіл домішок після дифузії 1.2.1 Розподіл домішки при дифузії з напівнескінченного простору (дифузія з концентраційного порога) 1.2.2 Розподіл домішки при дифузії з постійного джерела в напівнескінченне тіло 1.2.3 Розподіл домішки при дифузії із шару кінцевої товщини (дифузія з обмеженого джерела) у напівнескінченне тіло із границею, що відбиває 1.2.4 Розподіл домішки при дифузії з нескінченно тонкого шару в напівнескінченне тіло із границею, що відбиває 2. Розрахункова частина 2.1 Розрахунок розподілу домішки уздовж злитка кремнію після зонної плавки (один прохід розплавленою зоною) 2.1.1 Розрахунок розподілу Si-Ga 2.1.2 Розрахунок розподілу Si-P 2.1.3 Розрахунок розподілу Si-Sb. 2.2 Розрахунок розподілу домішки після дифузійного легування. 2.2.1 Дифузія з нескінченного джерела домішки на поверхні пластини й при температурі, що відповідає максимальної розчинності домішки в напівпровіднику. 2.2.2 Дифузія з нескінченного джерела домішки на поверхні пластини при Т=9500 С 2.2.3 Розподіл домішки після перерозподілу домішки накопиченої в приповерхньому шарі напівпровідника при Т=950ОС і часу дифузії 30хв. 3 Охорона праці Висновок Література Додаток А Залежність питомого опору кремнію від концентрації домішки при Т=300 К Эту работу можно заказать здесь Стоимость работы - 100 у.е. Скачать список всех работ Посмотреть другие рефераты по физике